发明名称 | 对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置。其中,该处理方法包括:接收对半导体对象执行操作的操作请求;判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定;若操作的操作权限被锁定,则拒绝操作请求;若操作的操作权限未被锁定,则执行操作请求,并锁定半导体对象对应操作的操作权限。通过本发明,解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作,执行操作的对象不能全被操作成功,导致系统与实际帐料不符的问题,提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率。 | ||
申请公布号 | CN105990185A | 申请公布日期 | 2016.10.05 |
申请号 | CN201510090264.5 | 申请日期 | 2015.02.27 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 史晓霖;王伦国;隋云飞 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 李嫄;吴贵明 |
主权项 | 一种对半导体对象执行操作的处理方法,其特征在于,包括:接收对半导体对象执行操作的操作请求;判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定;若所述操作的所述操作权限被锁定,则拒绝所述操作请求;若所述操作的所述操作权限未被锁定,则执行所述操作请求,并锁定所述半导体对象对应所述操作的操作权限。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |