| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5384562(A) |
申请公布日期 |
1978.07.26 |
| 申请号 |
JP19760160277 |
申请日期 |
1976.12.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
USUI TOSHIO;OOTA KIYOBUMI |
| 分类号 |
H01L29/80;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
