发明名称 |
POSITIVE TYPE RESIST MATERIAL |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5590942(A) |
申请公布日期 |
1980.07.10 |
申请号 |
JP19780162302 |
申请日期 |
1978.12.29 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YONEDA YASUHIRO;KITAMURA TATEO;KITAKOUJI TOSHISUKE |
分类号 |
C08L33/02;C08L33/00;C08L33/04;C08L33/06;G03C1/72;G03F7/039;H01L21/302 |
主分类号 |
C08L33/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|