发明名称 DEPOSITION OF FILMS ON SUBSTRATES
摘要
申请公布号 GB2039678(A) 申请公布日期 1980.08.13
申请号 GB19790041291 申请日期 1979.11.29
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人
分类号 G03F7/40;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;H05K1/09;H05K3/02;(IPC1-7):G03C1/68 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
地址