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플라즈마 소스는 토로이드 형상의 공동을 인클로징하는 유전체 재료를 포함하는 플라즈마 용기를 포함한다. 토로이드 형상은 토로이드 형상을 관통하는 토로이드 축을 정의한다. 이 용기는 입력 연결부 및 출력 연결부를 형성하고, 입력 연결부 및 출력 연결부 각각은 공동과 유체 소통한다. 하나 이상의 금속 플레이트가 플라즈마 용기를 냉각하기 위해 플라즈마 용기에 인접하게 배치된다. 자기 코어는, 자기 코어의 각각의 제1 단부 및 제2 단부가 플라즈마 용기의 축방향 대향 측면들을 넘어 연장되도록 토로이드 축을 따라 배치된다. 제1 유도 코일 및 제2 유도 코일이 자기 코어의 각각의 제1 단부 및 제2 단부의 주위에 감겨진다. 입력 가스가 입력 연결부를 통해 공급되고 제1 유도 코일 및 제2 유도 코일에 진동 전기 전류가 공급될 때, 공동 내에서 플라즈마가 발생된다. |
