| 摘要 |
Système optique augmentant sensiblement le débit d'un spectromètre à réseau conçu pour déterminer les concentrations d'impuretés sur la surface de matériaux semiconducteurs (généralement du silicium cristallin simple) utilisés dans des circuits intégrés. Ce système, qui utilise un rayon laser (18) comme dispositif de photo-excitation frappant l'échantillon (12) contenu dans un Dewar, comprend une série de lentilles (22) placées devant l'échantillon qui façonnent le rayon laser de telle sorte que sa forme au point d'incidence sur l'échantillon est proportionnellement semblable à la forme de la fente monchromatique (24) du spectromètre. La même lentille qui donne la focalisation finale du rayon laser sur l'échantillon collecte le rayonnement émis par l'échantillon, qui est ensuite focalisé par des moyens optiques adéquats (28) sur la fente monochromatique (24) où il prend de préférence sensiblement la forme de la fente, mais déborde légèrement de la fente. |
