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Partikelstrahlsystem mit einer einen Partikelstrahl erzeugenden Partikelstrahlquelle, einem Deflektor, welcher dazu konfiguriert ist, den Partikelstrahl abzulenken, eine Deflektorsteuerung mit einem Empfangsmodul, einem Deserialisierer, einem Digital-Analog-Wandler und einer Treiberstufe, und ein Deflektionsdaten-Erzeugungsmodul mit einer Datenquelle, einem Serialisierer und einem Sendemodul, wobei die Datenquelle ein erstes paralleles Datensignal auszugibt, welches Daten zur Steuerung des Deflektors repräsentiert, der Serialisierer das erste parallele Datensignal in ein serielles Datensignal umwandelt, das Sendemodul das serielle Datensignal über ein Übertragungsmedium an das Empfangsmodul sendet, der Deserialisierer das von dem Empfangsmodul empfangene, serielle Datensignal in ein zweites paralleles Datensignal umwandelt, der Digital-Analog-Wandler wenigstens einen Teil des zweiten parallelen Datensignals in ein Analogsignal umwandelt, und die Treiberstufe mit dem Deflektor über eine Leitung elektrisch verbunden ist und das Analogsignal verarbeitet und das verarbeitete Analogsignal über die Leitung an den Deflektor ausgibt. |
