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发明名称
摘要
申请公布号	JPS61144643(U)	申请公布日期	1986.09.06
申请号	JP19850028828U	申请日期	1985.02.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/58	主分类号	H01L21/52
代理机构		代理人
主权项
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