| 摘要 |
처리 용기 내의 고주파 전극 그 외의 전기적 부재로부터 급전 라인 또는 신호선 등의 선로 상에 들어오는 고주파 노이즈에 대하여 병렬 공진 주파수를 임의로 조정할 수 있도록 하여, 상이한 주파수의 고주파 노이즈를 모두 효율적으로 안정되고 확실하게 차단한다. 필터(102(1))는, 통 형상의 외도체(110) 내에 코일(104(1))을 동축에 수용하고, 코일(104(1))과 외도체(110) 간에 링 부재(122)를 동축에 설치한다. 링 부재(122)는, 바람직하게는 외도체(110)의 축방향과 직교하는 평면 상에 원환 형상으로 연장되는 판체로서 구성되고, 바람직하게는 구리, 알루미늄 등의 도체로 이루어지고, 외도체(110)에 전기적으로 접속되고 코일(104(1))과는 전기적으로 절연되어 있다. |
