发明名称 |
MANUFACTURE OF EL ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS61240592(A) |
申请公布日期 |
1986.10.25 |
申请号 |
JP19850081740 |
申请日期 |
1985.04.17 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
SHIMOBAYASHI TAKASHI;MIZUMOTO TERUYUKI;OKAMOTO NORIHISA;ITO NAOYUKI |
分类号 |
C23C16/30;H01L21/205;H01L33/28;H01L33/42;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/14 |
主分类号 |
C23C16/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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