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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6239993(U)	申请公布日期	1987.03.10
申请号	JP19850129543U	申请日期	1985.08.27
申请人		发明人
分类号	H01L21/677;B25B11/00;B25J7/00;B25J9/02;B25J15/08;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):B25J7/00	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
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