发明名称 ION GUN FOR FOCUS ION BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6297242(A) 申请公布日期 1987.05.06
申请号 JP19850235809 申请日期 1985.10.22
申请人 SONY CORP 发明人 KONISHI MORIKAZU
分类号 H01J27/26;H01J37/08 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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