| 摘要 |
본 발명은 검사 설비, 검사 방법 및 검사 시스템을 개시한다. 본 설비는, 복수의 광원 점을 포함하는 분산형 광선원; 분산형 광선원의 빔 출사단에 설치되어, 분산형 광선원이 생성한 광선을 부채꼴형의 지름선에 따라 집속시켜, 역부채꼴형 빔을 형성하는 광원 콜리메이터; 광선과 피검체의 상호 작용에 의해 생성된, 하나 또는 복수의 특정 산란각을 가지는 산란 광선 만을 통과시키도록 배치된 산란 콜리메이터; 상기 산란 콜리메이터의 하류에 설치되는 적어도 하나의 탐측기에 있어서, 에너지 식별력을 구비하며 기본적으로 기둥면 상에 설치되어 상기 산란 콜리메이터를 통과한 산란 광선을 수광하는 탐측 유닛을 복수 개 포함하는 탐측기; 탐측기가 출력하는 신호에 의해 피검체의 산란 광선 에너지 스펙트럼 정보를 산출하는 처리 장치, 를 포함한다. 상기 설비는, 에너지 식별력을 가지는 탐측기를 이용하여, 고정 각도하에서 산란 X-레이의 에너지 분포를 측정하여 물질의 격자 상수를 얻어, 물질의 종류를 식별할 수 있다. |
