放射線の検出方法

摘要

本発明は、放射線を光学的に検知するための方法であって、エネルギーが１０３ｅＶ超の範囲にある放射線を、エネルギーが０．５ｅＶ〜２０ｅＶの範囲の放射線に変換するための第一の成分と、エネルギーが０．５ｅＶ〜２０ｅＶの範囲の放射線を吸収するための第二の成分とを用意することを含み、このとき第二の成分が吸収により検知可能な光を放射する方法に関する。これにより、一方では空間分解方式で放射線を検知すること、また他方では対応する測定系構造に応じて、統計的評価により、または層厚もしくは異なる層配置により放射線種についての情報を得ることが可能となる。