发明名称 |
NON-CONTACT TYPE MEASURING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01147343(A) |
申请公布日期 |
1989.06.09 |
申请号 |
JP19880204853 |
申请日期 |
1988.08.19 |
申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
DANIERU GUIDOTSUTEI;SUWAIIIN TAN;JIYON GIRUBAATO UIRUMAN |
分类号 |
G01J1/04;G01J1/16;G01J1/24;G01N21/35;G01N21/55;G01N21/59 |
主分类号 |
G01J1/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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