发明名称 |
MANUFACTURE OF HETEROJUNCTION BIPOLAR TRANSISTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01166559(A) |
申请公布日期 |
1989.06.30 |
申请号 |
JP19870324109 |
申请日期 |
1987.12.23 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUSANO CHUSHIRO;MITANI KATSUHIKO;TAGAMI TOMONORI;TAKAHASHI SUSUMU;MIYAZAKI MASARU |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/72;H01L29/737 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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