发明名称 ADJUSTMNT MECHANISM FOR POSITIONING A PROBE CARRYING PLATE
摘要
申请公布号 PL270312(A1) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 PL19880270312 申请日期 1988.01.27
申请人 NAUKOWO PROD CT POLPRZEWODNIKO 发明人 KALICKI GRZEGORZ;TRYNKIEWICZ JERZY
分类号 G05G;G05G1/08;H01L21/66;(IPC1-7):G05G/ 主分类号 G05G
代理机构 代理人
主权项
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