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发明名称 VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ABSETZEN METALLISCHER SCHICHTEN AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号 DE3576098(D1) 申请公布日期 1990.03.29
申请号 DE19853576098 申请日期 1985.10.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 HERRON, LESTER WYNN, HOPEWELL JUNCTION, N.Y. 12533, US;KUMAR, ANANDA HOSAKERE, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US
分类号 H01L23/12;C23C10/04;H01L21/388;H01L21/48;H05K1/03;H05K1/09;H05K3/24;(IPC1-7):H01L21/48 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
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