| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR VACUUM TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02240923(A) |
申请公布日期 |
1990.09.25 |
| 申请号 |
JP19890061006 |
申请日期 |
1989.03.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAWAHARA HIRONORI;SATO HITOAKI |
| 分类号 |
B01J3/00;C23C14/50;C23C14/54;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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