发明名称 光学记录媒体及其制作方法
摘要 一种光学记录媒体,它包含基片、沉积在基片上的记录层以及沉积在记录层的光反射侧和/或光透射侧的保护膜,保护膜至少要含有Si、Cr和N。一种制备具有记录层以及基片上有保护膜的光学记录媒体的方法,该方法包括下列步骤:制作由Si以及从金属元素、半金属元素和半导体元素中选出的至少一种电阻率小于Si的元素组成的合金靶所构成的阴极,在至少含有惰性气体和氮气的气氛中进行DC磁控溅射,沉积出保护膜。
申请公布号 CN1046226A 申请公布日期 1990.10.17
申请号 CN90102003.6 申请日期 1990.04.06
申请人 三井石油化学工业株式会社 发明人 山浩二;桥本英彦
分类号 G03G5/00 主分类号 G03G5/00
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人 王以平
主权项 1、一种光学记录媒体,包括:基片,沉积在基片上的记录层,沉积在上述记录层的光反射侧和/或光透射侧的保护膜,以及至少含有Si、Cr和N的保护膜。
地址 日本东京