| 主权项 |
1﹒一种NF3气体之处理法,系在高温中将含有NF3气体之排气与碳材接触,转变为无毒性之CF4气体与N2气体,其特征在,将碳材形成由多数贯通孔聚集所成之蜂巢式构造体,令合有NF3气体之排放气+通过上述蜂巢式构造体之贯通孔,并在通过期间,与上述贯通孔之孔壁碳材接触。2﹒如申请专利范围第1项所述之NF3气体之处理法,其中贯通孔之直径系设定0:1-15m/m。3﹒一种NF3气体之处理装置,具备:含有NF3气体之排气之导入管;连接于该导入管端部之反应筒;填充于该反应筒内之碳材;自反应筒延伸供排出已处理完毕之气体之排放管,其中上述炭材系形成蜂巢式构造,同时上述反应筒系形成开闭自如之形态;上述蜂巢式构造系以贯通孔朝排气流通方向排列一致之状能态交换地填充于反应筒内。图示简单说明第1图为本发明所用蜂巢式构造体例之说明图;第2图及第3图为贯通孔形状变化例之说明图;第4图为本发明之NF3气体处理装置实施例之构成图;第5图为反应筒之放大说明图。 |
