| 发明名称 |
DETECTING METHOD OF ROTATION OF OBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03102204(A) |
申请公布日期 |
1991.04.26 |
| 申请号 |
JP19890240117 |
申请日期 |
1989.09.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KAKIGI GIICHI;HIZUKA TETSUO |
| 分类号 |
G01B11/26;G01N21/84;G06T1/00;H01L21/66;H05K13/08 |
主分类号 |
G01B11/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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