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发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
JPH03247760(A)
申请公布日期
1991.11.05
申请号
JP19900046367
申请日期
1990.02.26
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
TAGAMI TOSHIO;MATSUMOTO TOMOHIRO
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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