| 发明名称 |
DETECTION OF TRACE METAL ON SURFACE OF SEMICONDUCTOR SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03266445(A) |
申请公布日期 |
1991.11.27 |
| 申请号 |
JP19900065212 |
申请日期 |
1990.03.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP;JAPAN SILICON CO LTD |
发明人 |
TATSUTA JIRO;MORITA ETSURO;YOSHIMI TOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N1/28;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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