发明名称 VACUUM DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0472055(A) 申请公布日期 1992.03.06
申请号 JP19900181229 申请日期 1990.07.09
申请人 TOUKIYOU SEIHIN KAIHATSU KENKIYUUSHIYO:KK 发明人 TAIRA MICHISABURO;TAKANO YASUSABURO
分类号 C23C14/06;C23C14/24 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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