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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04241434(A) 申请公布日期 1992.08.28
申请号 JP19910003278 申请日期 1991.01.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KARASAWA KAZUAKI;NAKANISHI TERU;OCHIAI MASAYUKI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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