发明名称 MANUFACTURE OF SELECTIVE SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04269868(A) 申请公布日期 1992.09.25
申请号 JP19910050280 申请日期 1991.02.25
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 OONO AKIKAZU;IZUMI KATSUTOSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/02;H01L27/08;H01L27/12 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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