METHOD FOR DIVISION OF POLYGONAL PATTERN IN EXPOSING DEVICE,申请号JP19910051108-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR DIVISION OF POLYGONAL PATTERN IN EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04286314(A)	申请公布日期	1992.10.12
申请号	JP19910051108	申请日期	1991.03.15
申请人	FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD	发明人	MIYAJIMA MASAAKI
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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