发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04302166(A) 申请公布日期 1992.10.26
申请号 JP19910066296 申请日期 1991.03.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAJIMA MASAO
分类号 H01L21/768;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址