| 发明名称 |
Apparatus for controlling the velocity of a first member movable relative to a second member in a high precision apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IN172436(B) |
申请公布日期 |
1993.07.31 |
| 申请号 |
IN1990MA84119 |
申请日期 |
1990.10.22 |
| 申请人 |
RANK TAYLOR HOBSON LIMITED |
发明人 |
ONYON PETER DEAN |
| 分类号 |
G01P3/36;(IPC1-7):G01P3/36 |
主分类号 |
G01P3/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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