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发明名称 Optischer Meßkopf
摘要
申请公布号 DE4219271(A1) 申请公布日期 1993.12.16
申请号 DE19924219271 申请日期 1992.06.12
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE 发明人 RUDOLPH, GUENTER, DIPL.-ING., O-6900 JENA, DE
分类号 G01J3/12;G01J4/00;G01N21/21;G02B7/00;(IPC1-7):G01N21/17;G01N21/45;G01N21/47;G12B1/00;G01J1/04;G02B26/00 主分类号 G01J3/12
代理机构 代理人
主权项
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