| 主权项 |
1﹒一种用来测量透明丝状物体之方法,其包含下列步骤:(a)投射一束光线在所提及丝状物体上以产生干涉图案;(b)侦测该干涉图案;以及(C)测定出所侦测干涉图案平均空间频率之数値,并具有相当足够之精确度使得出该平均空间频率之数値所得到之丝状物体直径所具有之精确度至少为0﹒02微米。2﹒依据申请专利范围第1项之方法,其中所侦测到之干涉图案包含在一组数据点之振辐以及步骤(C)藉由下列方式加以运作(ii)由该当立叶系数决定该平均空间频率之数値,该平均空间频率之数値为丝状物体直径之测量値。3﹒依据申请专利范围第2项之方法,其中一个或多个下列步骤,在步骤(i)前加以执行:在侦测到之干涉条纹作快速富立叶转换以产生一组快速富立叶转换系数,该快速富立叶转换系数经过选择之子集合被使用来产生再建立之振辐数値,以及再建立振辐数値被使用来决定平均空间频率之数値及/或对振辐数値作频率解调弯以产生解调变数値以及解调弯数値被使用来决定平均空间频率之数値;及/或对振辐数値设作视窗处理,使先使用余弦视窗来执行该视窗处理运算。3﹒依据申请专利范围第3项之方法,其中频率解调变采用数据点位置之预先决定的偏移,该预先决定之偏移最好决定于干涉图案固有频率调变及/或包含使用来侦测干涉图案之任何透镜系统之畸变,以及解调变振辐数値利用内插法在数据点偏移往置处决定出,该内差最好使用最小标准内插法。5﹒依据申请专利范围第2,3或4项之方法,其中步骤(C)包含将振辐数値乘以预先计算出矩阵。6﹒依据申请专利范围第2,3或4项之方法,其中平均空间频率之数値在步骤(ii)中被决定出,其藉由对步骤(i)所产生之富立叶系数之子集合大小作抛物线标定或选择具有最大数値之富立叶系数而决定出7﹒依据申请专利范围第2,3或4项之方法,其中超过一束光线被用来照射所提及丝状物体以产生超过一个之干涉图案以及其中方法更进一步包含下列步骤:(A)数値为M个空间性分布之位置处侦测该一个或多个干涉图案,其中M等于或大于2;(B)对M位置之每一个位置产生讯号以代表丝状物组之直径;及(C)一项或两项下列步骤:将步骤(B)所产生之讯号平均以产生纤维直径之代表讯号,该M个空间分布之位置被选择将使得在M个位置所测定椭圆形丝状物体直径与旋转角度之关系曲线图彼此呈180/M之相差;及/或M値等于或大于3时,将步骤(B)所产生之讯号加以比较以产生丝状物体非圆形之指标値。8﹒依据申请专利范围第2,3或4项之方法,其中干涉图案在两个位置加以侦测出,该两个位置所分离之角度最好界于120至124范围之间;两个位置之每一个位置处丝状物体直径之讯号代表被产生,以及该讯号被加以平均以产生纤维直径之第三个代表,该两个位置之选择将使得第三讯号实际上对丝状物体椭圆形状并不敏感。9﹒依据申请专利范围第2,3或4项之方法,其中更进一步包含侦测丝状物体之缺陷,其藉由:产生该干涉图案空间频率之频谱,假如先前步骤没有做的话;将该空间频率之频谱第一组成单元监别出,该第一组成单元相对应于丝状物体之外径;以及监别出该空间频率之频谱第二组成单元,该第二组成单元具有之空间频率大于O以及小于第一组成单元之空间频率,在空间频率之谱频中第二组成单元之存在为丝状物体中缺陷存在之指标。10﹒依据申请专利范围第2,3或4项之方法,其中侦测一部份干涉图案之总光能;以及执行一个或两个下列止骤:(1)将总光能与预先决定之低限値比较,超过低限値为丝状物体中缺陷存在指标,及/或(n)假如上步骤没有做的话,产生干涉图案空间频率之频谱;监别出空间频率之频谱中第一组成单元,该第一组成单元对应于丝状物体之外径;决定出第一组单元等级之数値;将总光能对第一组成单元等级标准化;以及将标准化之总光能与先决定之低限値比较,超过低限値为丝状物体中存在缺陷之指标。 |
