发明名称 INTER-ATOMIC FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06174459(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920329417 申请日期 1992.12.09
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 SAKAI NOBUAKI
分类号 G01B11/30;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/06;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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