| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR AUTOMATIC OPERATION OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06224098(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
| 申请号 |
JP19930229688 |
申请日期 |
1993.08.24 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIYOOJI GOODON GIHOODO;BUROTSUKU ESUTERU OSUBOON |
| 分类号 |
C30B25/16;G01J3/443;G01N21/62;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
C30B25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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