| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING FLATTENED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06224189(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
| 申请号 |
JP19930008634 |
申请日期 |
1993.01.21 |
| 申请人 |
HANDOTAI PROCESS KENKYUSHO:KK;ALCAN TEC KK;CANON SALES CO INC |
发明人 |
MAEDA KAZUO;CHINO HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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