发明名称 VACUUM DRYER
摘要
申请公布号 JPH0743066(A) 申请公布日期 1995.02.10
申请号 JP19930205892 申请日期 1993.07.28
申请人 HITACHI PLANT ENG & CONSTR CO LTD 发明人 SAWARA TERUTAKA;ITO MASAMITSU;HIRATSUKA YUTAKA
分类号 F26B5/04;F26B21/14;H01L21/304;(IPC1-7):F26B5/04 主分类号 F26B5/04
代理机构 代理人
主权项
地址