PROBE DEVICE WITH PROBE BLOCK HOLDING MECHANISM

摘要

본 발명은 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 프로브블록과, 상기 프로브블록과 결합되는 결합프레임, 및 상기 결합프레임과 탈착 가능하도록 결합되어 상기 결합프레임에 결합된 프로브블록을 지지하는 지지프레임을 포함하며, 상기 결합프레임은 상기 지지프레임보다 열팽창률이 적은 재질로 형성되는 프로브블록의 지지기구를 구비한 프로브장치를 제공한다.