发明名称 COMPOSITION FOR POSITIVE PHOTORESIST REMOVAL
摘要
申请公布号 RU1653442(C) 申请公布日期 1995.04.30
申请号 SU19894755298 申请日期 1989.10.31
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT POLUPROVODNIKOVOGO MASHINOSTROENIYA 发明人 PIMKINA Z.A.;GUNINA N.M.;POYARKOV I.I.;DYNNIK A.P.;MANDRYKINA G.A.
分类号 G03F7/42;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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