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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07221179(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940032886 申请日期 1994.02.05
申请人 NEC CORP 发明人 HIRAYAMA TAKESHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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