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发明名称
摘要
申请公布号
JP2689146(B2)
申请公布日期
1997.12.10
申请号
JP19880275484
申请日期
1988.10.31
申请人
发明人
分类号
C23C8/36;C01B31/02;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;C23C16/02;C23C16/26;(IPC1-7):C23C16/26
主分类号
C23C8/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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