| 摘要 |
본 발명은 몰드를 사용하여 기판 상의 임프린트재를 성형하여 기판 상에 패턴을 형성하는 임프린트 장치를 제공하고, 장치는 기판 상에 임프린트재를 공급하도록 구성되는 공급 디바이스, 및 기판 상의 임프린트재의 배열 패턴의 정보를 획득하도록 구성되는 처리부를 포함하고, 처리부는 몰드의 제1 부분에 대응하는 배열 패턴의 정보 및 몰드의 제2 부분에 대응하는 배열 패턴의 정보에 기초하여 제1 부분과 제2 부분 사이의 경계부에 대응하는 배열 패턴의 정보를 획득하도록 구성된다. |
