发明名称 Methode zur Herstellung eines Metallkontaktes
摘要
申请公布号 DE69319993(T2) 申请公布日期 1998.12.10
申请号 DE1993619993T 申请日期 1993.09.17
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US 发明人 MACNAUGHTON, ROBERT B., COLLIN COUNTY, TEXAS 75093, US;LIAO, DE-DUI, DALLAS COUNTY, TEXAS 75081, US
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/485;H01L23/52;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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