| 主权项 |
1.一种晶圆盘底座之加强支撑方法,适用于半自动化装载台之圆型底盘底座,其方法至少包含有:以数个长型可调整式支撑物支撑;该支撑物之分布方式分布于晶圆盘底座;调整该长型可调整式支撑物之长度;及装置于该晶圆盘底座两夹层之间并以固定之,藉此使晶圆盘底座具有水平外观,并取得最大受力分布,使得该晶圆盘底座受力均匀不致变形。2.如申请专利范围第1项之方法,其中上述以数个该长型可调整式支撑物之数量,约至少三个以上。3.如申请专利范围第1项之方法,其中上述之数点分布方式约为至少三点之分布方式分布于该晶圆盘底座。4.如申请专利范围第1项之方法,其中上述之长型可调整式支撑物固定装置于晶圆盘底座两夹层间,松开后可取出,该长型可调整式支撑物不与晶圆盘底座成永久性结合。5.一种半自动化装载台晶圆盘底座之加强支撑装置,至少包含:具三个以上之长型可调整式支撑物,主要用以固定装载台装置之晶圆盘底座,并且加强装载台晶圆盘底座装置之支撑强度。6.如申请专利范围第5项之装置,其中上述之长型可调整式支撑物的宽度面积约等于四平方公分。7.如申请专利范围第5项之装置,其中上述之该长型可调整式支撑物长度约以晶圆盘底座之间距为准。8.如申请专利范围第5项之装置,其中上述之该长型可调整式支撑物材料,约有一预定有效强度。9.如申请专利范围第5项之装置,其中上述之长型可调整式支撑物材料,约有伸缩之韧性。10. 如申请专利范围第5项之装置,其中上述之长型可调整式支撑物材料,约有轻量之效果。11. 如申请专利范围第5项之装置,其中上述之长型可调整式支撑物,约以铝合金金属,钛合金金属,复合材料,工程塑胶或人工合成橡胶材料完成。 |
