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<p>동작상태 데이터의 신뢰도를 향상시키고 실시간 모니터링 및 공정관리가 이루어질 수 있도록 한 반도체 제조공정 관리장치 및 방법에 관한 것으로, 모니터링 및 통계적 공정관리 프로그램을 내장하고 각 반도체 제조장비의 파라미터별 동작상태 데이터를 입력받아 기설정된 샘플링 타임 및 안정화시간을 만족하는 데이터를 취합하고 평균값 및 정규분포를 계산하여 각 장비별 관리도를 작성 및 디스플레이하고 장비의 이상발생시 경보발생 및 공정 정지신호를 출력하는 모니터링/공정관리부와, 각 반도체 제조장비와 상기 모니터링/공정관리부간의 데이터 입/출력라인에 각각 연결되어 동작상태 데이터의 신호레벨 저하를 방지하기 위한 증폭기를 포함하여 구성되므로 시스템 성능과 작업능률 및 데이터의 신뢰성이 향상된다.</p> |
