一种制备类钻碳膜与钢材间高附着力的中间层的方法

摘要

本发明系有关于一种制备类钻碳膜与钢材间高附着力的中间层的方法，尤其是指利用以含有机矽氧烷化合物蒸镀中间层以提高类钻碳膜披覆于钢材上的附着力的方法。此中间层所含有的矽氧官能基可以加强类钻碳膜与钢材基板间的黏着力。而且藉着气相的矽氧烷化物和甲烷比例的逐渐改变，可形成一渐进的中间层，进一步加强类钻碳膜与钢材间的附着力。本发明之渐进层的制程为低温制程，其可与最外层的类钻碳膜的低温制程相匹配，与工业高温制程比较，本发明较具竞争力。

主权项

1.一种制备类钻碳膜与钢材间高附着力的中间层的方法,其特征在于以有机矽氧烷化合物混合甲烷,以特定比例通入真空腔体内,经高周波解离呈电浆状态,蒸镀于特定组成的中间层至欲保护的基板上而成。2.如申请专利范围第1项之方法,其中,中间层系由单一中间层及多层渐进中间层选出者。3.如申请专利范围第1项之方法,其中采用机矽氧烷化合物系于类钻碳膜中引入矽氧(Si-O-Si)官能基,且此官能机是以分子级的状态分散于类碳改质膜中。4.如申请专利范围第2项之方法,此中间层含有多层的渐进层,层与层之间的化学组成及机械强度等性质最好为逐渐变化。5.如申请专利范围第2项之方法,在渐进的中间层最上一层再以纯的甲烷蒸镀类钻碳磨耗层。6.如申请专利范围第1项之方法,整个制程在低温下进行,钢材基板不需要额外的加温。图式简单说明:第一图:类钻碳膜内应力释放示意图。第二图:电容式电浆离子蒸镀系统图。第三图:作拉曼(Raman)光谱分析图。第四图:红外线光谱图。第五图:刮痕测试光学显微镜照片。第六图:微硬度测试原子力显微镜照片。第七图:此渐进层系统的示意图。