具有氧化锌辐射热测量元件的辐射热测量器

摘要

一种红外线辐射热测量器(200),包括一个氧化锌辐射热测量元件,以获得在高温处理中的稳定性和高灵敏度。该辐射热测量器包括一个有源阵列层(210)、一个支撑层(220)、一对接线柱(260)和一个吸收层(230)。该有源阵列层(210)包括一个具有集成电路的基片(212)、一对连接端(274)和一个覆盖该基片的保护层(216)。该支撑层(220)包括一对桥路(240),每一桥路(240)在其上部设有一导电线(255),其中该导电线(255)的一端电连接至相应的连接端(214)。该吸收层(230)包括一个周围环绕有吸收器(295)的氧化锌辐射热测量元件(285)。每一接线柱(260)包括周围环绕绝缘材料(264)的电导线管(262),并被设置在该吸收层和该桥路之间,在此方式下,该氧化锌辐射热测量元件(285)通过电导线管(262)、导电线(255)和连接端(214)而电连接至该集成电路。

主权项

1、一种红外线辐射热测量器，包括：一个有源阵列层，包括一个基片和至少一对连接端；一个支撑层，它设置有至少一对桥路，每一桥路包括一导电线，该导电线的一端电连接至相应的连接端；一个吸收层，包括一个周围环绕有吸收器的氧化锌(ZnOx)辐射热测量元件；及至少一对接线柱，每一接线柱被设置在该吸收层和该支撑层之间，并包括周围环绕绝缘材料的电导线管，该吸收层的辐射热测量元件的每一端通过相应的电导线管和相应的导电线而电连接至相应的连接端。