| 主权项 |
1.一种真空装置,其系制造具有前面板与后面板之电浆显示装置者,在真空环境中在上述前面板形成薄膜之成膜室,与具有将上述前面板与上述后面板在真空环境中进行相对性对准位置之对准位置室,上述成膜室与上述对准位置室之间,系构成为上述前面板不暴露于大气被被搬送。2.如申请专利范围第1项之真空装置,其中上述后面板,系不通过上述成膜室,构成为被搬入于上述对准位置室。3.如申请专利范置第2项之真空装置,其中上述对准位置室,系上述后面板被搬入时,构成为可维持真空环境。4.如申请专利范围第2项之真空装置,其中上述对准位置室为连接于具有封装室之装配生产线,将被对准相对性对准位置状态之上述前面板与上述后面板不暴露于大气从上述对准位置室搬入于上述封装室,在被对准相对性对准位置状态之上述前面板与上述后面板之间导入气体,构成为可密封。5.如申请专利范围第3项之真空装置,其中在上述对准位置室连接具有封装室之装配生产线,将被相对性对准位置之上述前面板与上述后面板,不暴露于大气从上述对准位置室搬入于上述封装室,在被相对性地对准位置之上述幕面板与上述后面板之间导入气体,构成为可密封。6.如申请专利范围第4项之真空装置,其中在上述装配生产线内部设有配置加热装置之时效室,将被相对性对准位置之上述前面板与上述后面板在密封之前搬入于上述时效室内,将上述时效室内边进行真空排气使上述加热装置发热,构成为将上述前面板与上述后面板被相对性地对准位置之状态下加以加热。7.如申请专利范围第5项之真空装置,其中在上述装配生产线内部设有配置加热装置之时效室,将被相对性对准位置之上述前面板与上述后面板在密封之前搬入于上述时效室内,将上述时效室内边进行真空排气使上述加热装置发热,构成为将上述前面板与上述后面板被相对性地对准位置之状态下加以加热。8.如申请专利范围第4项之真空装置,其中在上述装配生产线设置具有电源之时效室,将被相对性对准位置之上述前面板与上述后面板在密封之前,搬入于上述时效室内,将上述时效室内边真空排气导入放电用气体,由上述电源对于上述前面板与后面板所具之电极施加电压,构成为在上述前面板与上述后面板之间产生放电。9.如申请专利范围第5项之真空装置,其中在上述装配生产线设置具电源之时效室,将被相对性对准位置之上述前面板与上述后面板在密封之前,搬入于上述时效室内,将上述时效室内边真空排气导入放电用气体,由上述电源对于上述前面板与后面板所具之电极施加电压,构成为在上述前面板与上述后面板之间产生放电。10.如申请专利范围第4项之真空装置,其中在上述时效室与上述封装室之间设置具电源之检查室,将在上述时效室内完成处理之上述前面板与上述后面板,在密封之前搬入于上述检查室内,边将上述检查室内真空排气,由上述电源对于上述前面板与上述后面板所具之电极施加电压,构成为在上述前面板与上述后面板之间产生放电。11.如申请专利范围第5项之真空装置,其中在上述时效室与上述封装室之间设置具电源之检查室,将在上述时效室内完成处理之上述前面板与上述后面板,在密封之前搬入于上述检查室内,边将上述检查室内进行真空排气,由上述电源对于上述前面板与上述后面板所具之电极施加电压,构成为在上述前面板与上述后面板之间产生放电。12.一种电浆显示装置之制造方法,将前面板搬入于成膜室内,在真空环境中形成薄膜之后,将上述前面板不暴露于大气搬入于对准位置室内,将上述前面板,与和上述前面板另外被搬入之后面板在上述对准位置室内进行相对性对准位置之后,在上述前面板与上述后面板之间导入放电用气体之状态下,密封上述前面板与上述后面板。图式简单说明:第一图系本发明之第一例之真空装置。第二图系本发明之第二例之真空装置。第三图系可使用本发明之MgO膜成膜装置之一例。第四图系可使用本发明之对准位置室之概略构成图。第五图系用来说明检查室之图。第六图系表示时效时间与放电开始电压及放电维持电压之关系图表。第七图系表示时效时间与放电开始电压及放电维持电压之关系图表。第八图(a)-第八图(f):说明前面板之制造工程之图。第九图系用来说明电浆显示面板之图。 |
