| 主权项 |
1.一种液体排出头,包含一个基材;一个顶板,连接至该基材;一个液体流动路径,形成于该基材与该顶板之间;及一个悬臂状可移式构件,具有一个固定至该基材之固定端及一个延伸入该液体流动路径中之自由端,其中依照指定顺序从该基材侧边堆叠一个下保护层、一个发热抵抗层、一个下电极层、一个绝缘层、一个上电极层、及一个上保护层,以构成该可移式构件,且其中将一电压施加至该发热抵抗层之一个发热部而造成该可移式构件与该基材之间的液体流动路径中之一液体产生气泡,以排出液体。2.如申请专利范围第1项之液体排出头,其中该上电极层及该下电极层系由一种高融点金属所形成。3.如申请专利范围第1项之液体排出头,其中该绝缘层由SiN所形成。4.如申请专利范围第1项之液体排出头,其中该发热抵抗层系电性连接至该发热部的排放方向上游与下游处之该等电极层。5.如申请专利范围第1项之液体排出头,其中该上电极层及该下电极层系形成于从该可移式构件的前表面侧至后表面侧之范围。6.如申请专利范围第1项之液体排出头,进一步包含对应于排放用加热器而与液体流动路径中的发热部呈分离设置之一个调整用加热器、及用于驱动调整用加热器的调整用加热器所用之一个驱动器。7.如申请专利范围第6项之液体排出头,其中施加至该调整用加热器之电压系低于施加至该发热部之电压。8.如申请专利范围第7项之液体排出头,其中该顶板具有一个电压转换器,以确保由该电压转换器施加至该调整用加热器的电压低于施加至该发热部的电压。9.如申请专利范围第7项之液体排出头,其中该调整用加热器系连接至与该发热部所连接的电源供应器不同之一个电源供应器,以确保施加至该调整用加热器的电压低于施加至该发热部之电压。10.如申请专利范围第9项之液体排出头,其中连接至该调整用加热器之电源供应器系为逻辑电路用之一个电源供应器。11.如申请专利范围第6项之液体排出头,其中该调整用加热器设置于该发热部的排放方向中之下游侧处。12.如申请专利范围第6项之液体排出头,其中分别将多数的该调整用加热器设置于该发热部的排放方向之上游侧及下游侧处。13.如申请专利范围第6项之液体排出头,其中该调整用加热器的面积小于该发热部的面积。14.如申请专利范围第6项之液体排出头,其中该调整用加热器所用之驱动器的面积系小于该发热部所用之驱动器的面积。15.如申请专利范围第6项之液体排出头,其中发热部所用之驱动器的一个发讯部系与该调整用加热器所用之驱动器的一个发讯部共同使用。16.如申请专利范围第6项之液体排出头,其中该顶板在该液体流动路径中进一步包含一个用于感应与该调整用加热器相对应之该液体流动路径内部状态之感测器。17.一种液体排出头的制造方法,该液体排出头包含一个基材;一个顶板,连接至该基材;一个液体流动路径,形成于该基材与该顶板之间;及一个悬臂状可移式构件,具有一个固定至该基材之固定端及一个延伸入该液体流动路径中之自由端,该方法包含以下步骤:提供位于一基材上之一个空间形成构件;依照指定顺序从该基材侧边堆叠一个下保护层、一个发热抵抗层、一个下电极层、一个绝缘层、一个上电极层、及一个上保护层,以构成一个可移式构件;及移除该空间形成构件,以将可移式构件定型为一悬臂状。18.如申请专利范围第17项之液体排出头的制造方法,其中该等上电极层及下电极层系由一种高融点金属制造。19.如申请专利范围第17项之液体排出头的制造方法,其中该绝缘层由SiN制造。20.如申请专利范围第17项之液体排出头的制造方法,其中该发热抵抗层系电性连接至该发热部的排放方向之上游及下游处之电极层。21.如申请专利范围第17项之液体排出头的制造方法,其中该上电极层及下电极层系形成于该可移式构件的前表面侧至后表面侧之范围。22.一种微机电装置,包含一个悬臂状可移式构件,此悬臂状可移式构件具有一个固定至一基材之固定端及一个延伸入一液体流动路径中之自由端,其中依照指定顺序从该基材侧边堆叠一个下保护层、一个发热抵抗层、一个下电极层、一个绝缘层、一个上电极层、及一个上保护层,以构成该可移式构件,且其中将一电压施加至该发热抵抗层之一个发热部而造成该液体流动路径中之一液体的加热。23.如申请专利范围第22项之微机电装置,其中该上电极层及该下电极层系由一种高融点金属所形成。24.如申请专利范围第23项之微机电装置,其中该绝缘层由SiN所形成。25.如申请专利范围第22项之微机电装置,其中该发热抵抗层系电性连接至该发热部的排放方向之上游与下游处之该等电极层。26.如申请专利范围第22项之微机电装置,其中该上电极层及该下电极层系形成于该可移式构件的前表面侧至后表面侧之范围。图式简单说明:图1为沿一个液体流动路径之方向的剖视图,显示作为本发明的第一实施例之一个液体排出头的结构;图2A、2B、2C为显示作为本发明第一实施例之液体排出头的制造方法中之第一程序之剖视图;图3A、3B、3C为显示作为本发明第一实施例之液体排出头的制造方法中之第二程序之剖视图;图4A、4B、4C为显示作为本发明第一实施例之液体排出头的制造方法中之第三程序之剖视图;图5为显示作为本发明第一实施例之液体排出头之放大部份剖视图;图6为沿一液体流动路径的方向之剖视图,显示作为本发明第二实施例之一个液体排出头的结构;图7A及7B分别为图6所示液体排出头之一基材及一顶板之示意图;图8A及8B分别为元件基材及顶板之平面图,显示图6所示液体排出头之电路结构;图9为安装有图6所示液体排出头之一个液体排出头单元之平面图;图10A及10B分别显示一个排放用加热器及用于加热图6所示液体排出头之一个加热器的驱动脉冲之波形范例及另一范例;图11为沿一液体流动路径的方向之剖视图,显示作为本发明的第三实施例之一个液体排出头的结构;图12为沿一液体流动路径的方向之剖视图,显示作为本发明第四实施例之一液体排出头的结构;图13为沿一液体流动路径的方向之剖视图,显示作为本发明的第五实施例之一液体排出头的结构;及图14为显示一习知结构之示意图,其中将一个排放用加热器设置于一个可移式构件上。 |
