| 摘要 |
본 발명은, 처리 라인의 한쪽으로부터 다른 쪽으로 기판을 반송하는 기능을 갖고, 또한 반송 중에 기판을 처리할 수 있는 승강식 기판 처리 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 시스템에 관한 것으로, 승강식 기판 처리 장치는 상하로 나란히 설치된 기판 투입구(11a) 및 기판 배출구(11b)를 구비한 바구니형상 커버체(11)와, 커버체(11) 내에 내장된 처리 기구(20)에 있어서, 기판 투입구(11a)로부터 반입된 기판을 수용하여 지지하는 한편, 기판 배출구(11b)로부터 기판을 배출하는 반송·지지 수단, 반송·지지 수단을 지지하는 지지 걸침대(21), 반송·지지 수단의 위쪽에 배치되고, 기판 상에 처리 유체를 토출하는 처리 유체 토출 수단을 구비한 처리 기구(20)와, 처리 기구(20)를 지지하여 상하 방향으로 승강시키고, 처리 기구(20)를 기판 투입구(11a) 및 기판 배출구(11b)에 경유시키는 승강 기구(40)로 구성된다. |
