| 摘要 |
본 발명의 일태양의 멀티 하전 입자빔 묘화 장치는, 하전 입자빔에 의한 멀티빔의 샷마다, 각 빔의 1 샷분의 조사를 조사 시간이 상이한 복수 회의 분할 샷으로 분할하도록 복수 회의 분할 샷의 데이터를 생성하는 분할 샷 데이터 생성부와, 복수 회의 분할 샷의 데이터에 따라, 멀티빔의 각 빔을 개별로 블랭킹 제어하는 개별 블랭킹 기구와, 분할 샷마다, 멀티빔의 ON 빔 수에 따라 멀티빔 전체의 상의 신축률을 보정하는 신축률 보정치를 취득하는 신축률 보정치 취득부와, 분할 샷마다, 신축률 보정치를 이용하여 멀티빔 전체의 상의 신축률을 보정하는 렌즈를 구비한 것을 특징으로 한다. |
